希文真空
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STP-XA4503C 磁力轴承涡轮分子泵具有很宽的制程范围(从高真空到高流量要求),对所有气体都具有更高的吞吐量。 此泵基于新的设计,提供各种功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高最大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。 它设计成既可以处理温和的应用,也可以处理严苛的应用,例如刻蚀、注入、光刻和 FPD 制程。