STP-XA3203C 涡轮泵为高真空到 2300 sccm 制程流的制程范围内提供高性能，并提高所有气体的吞吐量。
 
此泵基于新的平台设计，提供各种功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高最大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。
 
其出色的性能既适用于温和的应用环境，也适用于严苛的环境，例如半导体刻蚀、注入、光刻和 LCD 制程。