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Edwards 有源离子真空计 (AIGX) 是紧凑型有源离子真空计,配备两根氧化钇覆膜的铱灯丝,测量范围极广,从 5 x 10-2 到 5 x 10-10 Torr(6.6 x 10-2 到 6.6 x 10-10 mbar),并且提供 1 V/decade 线性输出。Edwards AIGX 具备行业标准的有源压力测量概念的所有优势,同时集成了电子器件和可更换的管件。该真空计拥有脱气装置,而且具备保护和延长灯丝使用寿命的功能。得益于极低的带电微粒辐射,AIGX 成为不能有背景噪声的制程的最佳选择。