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STPA803C 涡轮分子真空泵 STPA803C ISO160F 进气口 YT36B0040 STPA803C DN160CF 进气口 YT36B0010
来源: | 作者:爱德华真空泵维修销售及配件 | 发布时间: 2022-01-05 | 62 次浏览 | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

概述

Edwards STPA803CV TMS 是为半导体应用而设计的涡轮分子泵。Edwards 的先进转子技术可实现一流的性能和最大的制程灵活性。STPA803CV TMS 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用，并得到了认可。
 

应用

  • 金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）

  • 电子回旋共振 (ECR) 刻蚀

  • 薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD

  • 溅射

  • 离子注入源，射束线泵送端点站

  • MBE

  • 扩散

  • 光致抗蚀剂脱模

  • 晶体/晶膜生长

  • 晶片检查

  • 负载锁真空腔

  • 科学仪器：表面分析、质谱分析、电子显微镜

  • 高能物理：射束线、加速器

  • 放射线应用：融合系统、回旋