确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。

意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。

允许泵送蒸汽，包括高达 240 gh-1 的水蒸汽

可在数分钟内完成维护，以降低拥有成本并最大程度延长正常运行时间。

增强型在初始抽空期间可减少多达 20％ 的峰值电力需求，这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室，且在该粗抽压力下抽取速度可提高达 25％，这也有助于提高应用循环频率。